Technology ＆ Knowhow
기업부설연구소 지식재산권 보유 현황
특허 5건
출원 3건
나노 구조 제조 방법
반도체 장치 및 비휘발성 메모리 소자 제조 방법
반도체 제조 장비의 배기 시스템
반도체 세정장치 및 이에 적용된 세정 방법
